电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2007-03-13

作者: 陈一匡

文化科学 >教育学

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通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响．

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铝诱导非晶硅薄膜电场固相晶化

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