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电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析

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摘要通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响．

DOI wjv5v20kd7/521474

作者陈一匡

机构地区不详

出处《韩山师范学院学报》 2007年3期

关键词铝诱导非晶硅薄膜电场固相晶化

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2007年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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铝诱导非晶硅薄膜电场固相晶化

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