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《上海电机学院学报》
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2009年2期
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光刻机常见故障与对策
光刻机常见故障与对策
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摘要
光刻机集光学机械、微电子、计算机、自动控制和精密测量等高新技术于一体,是集成电路制造的关键设备。为维持光刻机正常作业,以企业损失最小为优化目标,对于光刻机常见故障按照设备功能单元逐步缩小排查范围,提出合理的预防措施和故障修复方法。
DOI
0dpq1grw42/770945
作者
赵阳
机构地区
不详
出处
《上海电机学院学报》
2009年2期
关键词
集成电路
设备维修
光刻机
曝光
分类
[电气工程][电机]
出版日期
2009年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
上海电机学院学报
2009年2期
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