步进投影光刻机及其常见故障分析

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摘要 摘要:本文主要针对步进投影光刻机及其常见故障展开深入研究,先阐述了投影光刻机的结构、曝光系统等等,然后就又提出了几点常见故障,并采取了相应的解决方法,如圆片传输故障、曝光光源故障、淹模板传输故障、圆片出台故障,通过以上方法,能够使其常见的故障更好地解决。
出处 《科学与技术》 2020年20期
出版日期 2020年11月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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