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2020年20期
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步进投影光刻机及其常见故障分析
步进投影光刻机及其常见故障分析
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摘要
摘要:本文主要针对步进投影光刻机及其常见故障展开深入研究,先阐述了投影光刻机的结构、曝光系统等等,然后就又提出了几点常见故障,并采取了相应的解决方法,如圆片传输故障、曝光光源故障、淹模板传输故障、圆片出台故障,通过以上方法,能够使其常见的故障更好地解决。
DOI
lj1p9we1jv/4920220
作者
邓学文
张强
机构地区
中国电科重庆声光电公司、重庆、400060
出处
《科学与技术》
2020年20期
关键词
步进投影
光刻机
常见故障
分析
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2020年11月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科学与技术
2020年20期
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