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光学加工及设备

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摘要 TQ171.68497010634超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势=Developmentandfeatureofultraprecisionopticalpolishing[刊,中]/滕霖,任敬心(西北工业大学.陕西,西安(710072))∥航空精密制造技术.—1996,32(3).—5—9综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型

DOI rdxgxl854l/715373

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 1997年1期

关键词光学抛光发展趋势精密制造技术超精密研究进展西北工业大学

分类 [理学][物理]

出版日期 1997年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）