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光学工艺微细加工技术与设备

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摘要 TN305．72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]／孙洋(清华大学深圳研究生院．广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电．-2004,25(6)．-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

DOI 0dpqqzqk42/695869

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2005年3期

关键词衍射光场飞秒激光光刻胶激光微细加工光学工艺抛光液

分类 [理学][物理]

出版日期 2005年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国光学

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