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试分析单晶炉的设计优化

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摘要【摘要】虽然目前生产硅单晶的工艺种类繁多，但大多数硅单晶的生长都需要在充有惰性气体的密闭炉室内进行。

DOI n496rog74y/4593411

作者杨延生韩永龙高玉顺宋生宏

机构地区阳光能源（青海）有限公司青海省西宁市 810007

出处《工程管理前沿》 2020年4期

关键词热变形真空获得传动系统高效节能

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2020年04月24日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

工程管理前沿

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