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硅单晶生长炉谐波治理技术方案分析

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摘要单晶炉在硅料熔化过程中谐波含量很大，产生大量的高次谐波电流，污染电网，危害用电设备。本文阐述了采用晶闸管投切集中滤波补偿系统及单晶炉就地5次谐波滤波柜对单晶炉供电系统进行动态谐波治理及无功补偿的技术方案，改变了大多数厂家采取传统的L—C滤波器进行治理谐波的思路，避免了发生滤波器谐波过载及各单晶炉间电气设备产生串、并联谐振现象，从而对公司产生了良好的经济与社会效益。

DOI ldez2lred3/593389

作者曾勇

机构地区不详

出处《新疆职业大学学报》 2008年1期

关键词单晶硅单晶生长炉谐波治理无功补偿晶闸管投切滤波回路

分类 [文化科学][职业技术教育学]

出版日期 2008年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）