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  • 简介:摘要:陡直度与很多因素有关,如介质的材料、光刻的种类以及工艺参数等。在本文中,实验环境固定在硅介质表面,采用罗门哈斯公司生产的 LC100A型光刻,在已有成熟工艺的基础上,实验采用分段显影方法、改善前烘条件以及加入 PEB烘干对提高陡直度的影响。对陡直度的评价采用显微镜定性观察,扫描电镜测量的方法。

  • 标签: 光刻胶陡直度 提高方法
  • 简介:摘 要:此前,公司钝化层使用的光刻 AZ6130为进口光刻,采购周期长且成本较高。为了缩短采购周期同时降低成本,特考虑使用国产光刻 RZJ-306B替代该层次的进口光刻。本文从颗粒、 Spin curve、留膜率、膜厚均匀性与稳定性、曝光工艺窗口、线宽( CD) &光刻形貌、缺陷、抗干法刻蚀能力及去胶能力等九个方面评估了国产光刻 RZJ-306B的各项性能,实验结果表明其单项工艺能力与原进口光刻 AZ6130相比可满足现有产品生产要求。同时,进一步实验表明,国产光刻 RZJ-306B可替代进口光刻 AZ6130应用于实际生产。钝化层光刻国产化使得该层光刻采购周期缩短了一半,生产成本降低了约 50%。

  • 标签: 光刻胶 国产 性能 评估 可替代
  • 简介:摘要:近年来,随着社会建设的不断发展,在超快时间尺度上以二维空间分辨率揭示激光脉冲在光刻之间的运动过程,将有助于了解激光加工过程和优化加工工艺。然而现有记录激光脉冲在光刻中运动过程的成像技术都存在需要多次重复拍摄或时间分辨率受限等问题。为了克服这些问题,通过使用压缩超快摄影来观测光刻中激光脉冲的运动。实验结果表明,搭建的实验系统能以1.54×1011fps的帧率,单次成像数百帧的图像序列深度,实时观测到这一不可重复的超快事件。

  • 标签: 光刻胶 应用 优化
  • 简介:摘要:随着芯片集成度的持续改进, UV全光谱技术已经被替换为更加精细的短波曝光,这使得光刻的分辨率大大提高,因此,为了满足更加精确、更加细致的要求,化学增强型光刻便随之诞生。“化学增幅”技术可以显著提升光刻的量子转换效率,并且具备更高的灵活性,从而可以应用于深紫外光谱和 UV光谱等领域。而用高性能树脂作光刻的成膜材料,则会对其性能产生很大的影响。本文深入探讨了化学增强型光刻材料的研究进展,希望能对相关研究做出参考性建议。

  • 标签: 光刻胶 化学增幅 研究进展
  • 简介:摘要地质聚合是一类新发展起来的,兼有有机、陶瓷、水泥的特点,又具有独特优异性能的新型凝材料。本文介绍了地质聚合的反应机理、研究进展及开发应用。

  • 标签: 胶凝材料 地质聚合物 碱激活 反应机理
  • 简介:摘要:光刻光刻工艺的核心,是PCB印刷电路板、LCD液晶显示和半导体等各应用行业的上游材料,在电路板、液晶显示和半导体行业中有着广泛的应用;本文对高性能光刻用色浆的开发应用进行技术研究,通过盐研磨技术创新,实现技术工艺路线创新。

  • 标签: 光刻胶 色浆 技术创新
  • 简介:通过试验研究碱激发地聚合凝材料制备技术的优化条件。确定了偏高岭土在马弗炉中经710℃煅烧6h,高岭石结构转化为无定形结构的偏高岭土,有较高的火山灰活性;确定了模数为1.2,波美度为40%的改性水玻璃,其碱度与波美度刚好可以最大限度地激发偏高岭土的地聚合反应,而且也具有很好的工作性能,同时确定了温度为20±3℃,相对湿度95%以上的标准养护制度下最适合碱激发地聚合强度的发展。

  • 标签: 偏高岭土 碱激发 养护制度
  • 简介:摘要:密封在常温下是一种呈黏稠状的液体,通过温度变化、溶剂挥发和化学交联等过程使基材与之黏结,并逐步定型为塑性固态或弹性体,成为具有防水、密封、减震、防腐等作用的多功能黏结密封材料。自20世纪70年代以来,几类硅烷改性密封是由活性硅氧烷对聚氨酯聚合或聚醚进行封端制成,陆续被欧美、日本等国家开发,类型主要有三种:硅烷改性聚氨酯密封(SPU)、硅烷封端聚醚密封(STPE)、硅烷改性聚醚密封(MS)。这三者端基均为可湿气固化的硅氧烷基,以聚醚或聚氨酯作为预聚,性能具有的优点:操作使用简便、交联固化程度深、黏结性能好等。同时,与传统的密封相比,均有所不同的是固化机理,称之为室温湿气固化,端基交联固化形成三维网状的结构,顺应绿色环保的潮流趋势。

  • 标签: 硅烷改性 密封胶 研究
  • 简介:许多从事聚合生产和树脂加工的企业长期以来一直在寻找一种真正导电的聚合材料来作为铜和铝的替代,而且比金属材料更为轻质而易于加工成型,并具有更强的耐腐蚀性。美国人TomAisenberry发明了名为ElectriPlast的导电塑料,最近取得了用这种材料制作天线的专利,并考虑用于其他用途,例如制作手机的外壳使之起到信号接收天线的作用;汽车车厢的地板或座垫材料,使整个表面都能用来辐射热量;完全不需要金属导线的印刷线路板等等。ElectriPlast具有与金属相当的导电和导热能力,其基本原理是将一种未透露其本质的填料掺混到PC、PC/ABS、

  • 标签: 聚合物技术 PC/ABS 聚合物材料 印刷线路板 树脂加工 加工成型
  • 简介:锂/聚合电池美国3M公司同阿贡国家实险室等正在进行合作研究,开发用于电动车辆的先进的锂/聚合电池。这种电池是由柔韧的薄膜电极和固体材料组成,电池具有寿命长、重量轻和体积小的特点。新的锂/聚合电池打算达到美国发展21世纪所用的电动车辆的电池指标,...

  • 标签: 聚合物电池 电动车辆 薄膜电极 固体材料 重量比 合作研究
  • 简介:聚丙烯以其性能优良、价格相对便宜的优点使其在汽车中的用量逐年增加。作为向汽车行业提供聚丙烯产品已有25年历史的SABIC公司,能够根据未来汽车设计的要求,提供更加合理的聚丙烯解决方案。

  • 标签: 汽车行业 聚合物 聚丙烯 汽车设计 价格 公司
  • 简介:增塑剂是塑料加工的一类重要助剂,也是产量和消费量最大的一种塑料加工助剂,它赋予塑料制品的柔软性,并随着塑料制品的发展而发展。目前,国外发达国家增塑剂发展及研制开发重点是,开发生产更多的具有

  • 标签: 增塑剂 聚合物 塑料制品 甲醛树脂 高分子增塑剂 塑料加工
  • 简介:分散剂在塑料着色中的应用;国产光稳定剂在PE农膜中的应用;线型聚二氯磷腈衍生物用于提高聚丙烯、尼龙6的阻燃性能;高效无毒环保型稀土稳定剂的制备及应用;无毒稳定剂在PVC—U给水管材/管件生产中的应用……

  • 标签: 聚合物 文摘 助剂 聚二氯磷腈 稀土稳定剂 无毒稳定剂
  • 简介:氰尿酸锌对PVC热稳定作用的研究刘丽丽等(中南大学化学化工学院)/塑料助剂,2017.03合成了一种新型的PVC热稳定剂——氰脲酸锌,通过静态烘箱热老化实验和刚果红实验测定了氰尿酸锌及其复合热稳定剂对PVC热稳定性的影响。结果表明,氰尿酸锌单独作为热稳定剂会出现“锌烧”现象,而复合热稳定剂可以使PVC拥有更好的热稳定效果。

  • 标签: 塑料助剂 PVC热稳定剂 聚合物 复合热稳定剂 文摘 化学化工学院
  • 简介:粉末产品和其他粒状原料的脱水工艺在环境管理中具有重要作用,其中包括很多方面,不仅是在最后的干燥阶段前从固体原料中提取尽可能多的水分而已。

  • 标签: 聚合物 心法 环境管理 原料 脱水