简介:摘 要:本文拟从反应气体流量、射频电源的功率、产品表面温度和产品与喷头之间的距离四个方面单因素探索每个工艺条件对产品钝化膜层质量所产生的影响,从中得出每个因素单方面最适宜生产产品的工艺参数。然后再通过正交实验,设计 4因素 5水平试样,将各个工艺参数的影响综合进行比较,从中得出最适合生产的工艺参数。在 650V高压 VDMOS功率器件的表面制备 4KÅ氮化硅钝化膜的最佳工艺参数组合为:反应气体流量比例为 38:14,射频功率为 350W,硅片表面的温度为 390℃,硅片与喷头的距离为 340mils。经过试验得出结论,供 VDMOS半导体技术工作者参考。
简介:摘要:科技的进步,促进工程建设事业得到快速发展。工程陶瓷具有硬度高、强度高、耐磨损、热膨胀系数低以及绝缘等优良性能,被广泛应用于机械和航空等领域。由于陶瓷材料具有硬脆特性,磨削加工是其主要的加工方式。在陶瓷磨削加工过程中,涉及到力学、热学、材料学以及化学等多学科问题,在多场强作用下的磨削机理有待进一步揭示。与其他加工方式不同的是,在磨削过程中去除单位体积材料需要大量的能量,这些能量最终都以热的形式进行转化,只有一小部分用于形成新的表面,这会导致磨削区产生较高的磨削温度,而表面温度过高又会对陶瓷表面质量、加工精度、加工效率以及砂轮磨损产生很大影响。此外,陶瓷材料的抗热冲击性能差,高温时会在磨削表面形成烧伤与热裂纹,极大影响其使用寿命。本文就氮化硅陶瓷磨削温度与表面裂纹扩展展开探讨。
简介:【摘要】 点焊在汽车制造中得到广泛的应用,点焊过程中的焊接分流,严重影响焊接质量。根据氮化硅陶瓷材料的物理性能,结合在汽车焊接中的分流现象,对氮化硅陶瓷材料在焊接夹具上的应用进行了分析和验证,研究出氮化硅陶瓷材料在焊接夹具上的应用方法。
简介:摘要:氮化硅纳米纤维增强复合材料作为一种新型的功能材料,在材料科学领域引起了广泛的关注。本文以制备氮化硅纳米纤维增强复合材料为目标,探究了不同制备工艺对复合材料力学性能的影响。首先,采用溶胶-凝胶法制备出氮化硅纳米纤维,得到了具有较高纤维直径和较低比表面积的氮化硅纳米纤维。接着,采用真空浸渍法将氮化硅纳米纤维与基体材料进行复合,通过调控浸渍时间和浸渍剂浓度等参数,得到了不同含量的氮化硅纳米纤维增强复合材料。最后,通过力学性能测试,分析了不同含量的氮化硅纳米纤维对复合材料的强度、刚度和断裂韧性的影响。结果表明,随着氮化硅纳米纤维含量的增加,复合材料的强度和刚度呈现出增加的趋势,而断裂韧性则呈现出先增加后减小的变化趋势。综合考虑,本研究为进一步优化氮化硅纳米纤维增强复合材料的制备工艺和力学性能提供了重要的参考。
简介:[摘要]:目的:研究高效高能量密度氮化镓车载充电机系统化集成与样机测试。方法:以高效高能量密度氮化镓车载充电机为研究对象,实施系统化集成测试、样机测试。结果:充电机的前后级均以大电流氮化镓功率管作为主控管,采用全数字控制方式,保证该车载充电机整机效率比相同容量硅器件充电机的效率提高3个百分点,功率密度提高30%以上。结论:与采用Si功率器件的传统车载充电机存在的体积大、效率低等问题。相比,氮化镓功率器件具有更高的开关频率、更小的导通损耗,在高效高功率密度车载充电机应用领域具有突出优势。