微惯性技术是惯性技术与MEMS（Micro－Electro—MechanicalSystems，微机电系统）结合产生的一门新兴交叉学科，包括MEMS惯性传感器元件技术，惯性测量、稳定，惯性导航与制导技术。微惯性传感器主要包括：MEMS加速度计、MEMS加速度开关、MEMS陀螺仪和MEMS惯性测量单元（MIMU）
中国工程物理研究院科技年报
2010年1期
