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氢氧化钠对碱性蚀刻液影响的研究
氢氧化钠对碱性蚀刻液影响的研究
(整期优先)网络出版时间:2016-11-21
作者:
刘颂颜;吴清清
电子电信
>微电子学与固体电子学
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资料简介
文章分析印制板碱性蚀刻前工艺水洗残留氢氧化钠对蚀刻速度的影响及原理,实验和实践结果表明,减少或避免氢氧化钠带入碱性蚀刻液可以保持蚀刻速率的均匀性和蚀刻液的稳定。
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文章分析印制板碱性蚀刻前工艺水洗残留氢氧化钠对蚀刻速度的影响及原理,实验和实践结果表明,减少或避免氢氧化钠带入碱性蚀刻液可以保持蚀刻速率的均匀性和蚀刻液的稳定。
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