O484.196042591SiO2薄膜的制备方法与性质=TheinfluenceofoxygenpartialpressureonthepropertiesofSiO2thinfilms[刊,中]/陈立春,姚健铨(天津大学精密仪器系.天津(300072)),王向军,徐叙瑢(天津理工学院材料物理研究所.天津(300191))∥发光学
中国光学
1996年4期