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集成电路制造厂供配电系统可靠性研究

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摘要摘要：集成电路制造厂的供配电系统可靠性对于生产的高效稳定进行至关重要。本文从技术角度深入分析了集成电路制造厂供配电系统的特点、可靠性的研究方法以及提高可靠性的措施。研究结果表明，通过采用冗余设计、定期维护、实施监控和报警系统等措施，可以有效提高供配电系统的可靠性，降低生产风险，为集成电路制造产业的可持续发展提供有力保障。

DOI pj015wzewd/8062903

作者崔忠

机构地区身份证号：342425198710280816

出处《建筑实践》 2024年1期

关键词集成电路制造供配电系统可靠性

分类 [建筑科学][]

出版日期 2024年03月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）