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集成电路用半导体材料智能制造应用研究

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摘要 [摘要]集成电路半导体材料是制造集成电路和半导体器件的基本材料，并且是高度敏感的战略资源。用于集成电路的半导体材料的智能制造应用的研究基于专注于多晶硅的智能制造的电子级生产线，对生产和业务流程的特定应用进行研究，高度数字化构建一个全面，自动化，可视化，建模，集成和智能的生产过程信息管理系统，以实现各个级别的业务协同，并提高公司的预测和预警能力。实现设备自动化，人员效率和管理信息，以确保生产安全和环境保护。提高产品的稳定性，达到稳定输出集成电路用电子级高纯度多肽的目的，并为国家集成电路行业的原材料提供战略保证。

DOI wjvqm38wd7/4972326

作者王智远周成

机构地区西安电力电子技术研究所陕西西安 710000

出处《科学与技术》 2020年22期

关键词 []集成电路半导体材料电子级多晶硅智能制造数字化

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年12月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）