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关于硅烷法制备多晶硅工艺研究

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摘要摘要本文对硅烷法制备多晶硅的几种工艺进行了综述，对多晶硅生产工艺做出介绍，尤其是对硅烷的制备方法做了全面的探讨。比如Komatsu硅化镁法、碱金属氢化物中的硅烷法和歧化法。虽然方法很多，但仍有需要完善的地方。

DOI rj8nmzvpj0/2878310

作者肖伟峰

机构地区肖伟峰六九硅业有限公司邮编：071000

出处《科学与技术》 2014年8期

关键词硅烷法多晶硅制备生产工艺

分类 [社会学][]

出版日期 2014年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

科学与技术（学术版）

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