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非晶金刚石膜的性能及其应用

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摘要非晶金刚石薄膜具有超高硬度等一系列优异的特殊性能,为工程界孜孜追求的材料表面镀膜.用百纳科技公司研发制造的过滤阴极真空电弧离子镀膜机镀制的非晶金刚石薄膜,SP3金刚石结构量≥80%,硬度高,膜/基结合力高,摩擦系数小,耐磨损,耐腐蚀,透光率高,在电子,机械,光学,生物医学上有广泛应用前景.我们已在视窗玻璃,丝锥,模具,硬质合金刀头等产品上成功应用.

DOI lpd59pqr47/284971

作者赵玉清;黎永钧

机构地区不详

出处《光学与光电技术》 2003年1期

关键词非晶金刚石薄膜过滤阴极真空电弧离子镀膜机性能应用

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 2003年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

光学与光电技术

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