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《材料导报:纳米与新材料专辑》
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类金刚石膜的沉积方法及应用
类金刚石膜的沉积方法及应用
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摘要
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp^3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。
DOI
ojn2yev1jr/1542837
作者
王宁;王静;武玉民;侯保荣
机构地区
不详
出处
《材料导报:纳米与新材料专辑》
2015年1期
关键词
类金刚石(DLC)膜
亚稳态
沉积法
分类
[一般工业技术][材料科学与工程]
出版日期
2015年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
材料导报:纳米与新材料专辑
2015年1期
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相关关键词
类金刚石(DLC)膜
亚稳态
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