简介:摘要:从微波集成电路芯片结构、工艺、材料等特性对实际使用的影响出发,对微波集成电路芯片的结构单元进行分解,识别并分析对集成电路芯片结构、工艺、材料对应用中的敏感要素,提出集成电路芯片结构、工艺、材料对应用可靠性的评价指标,结合评价指标考核要素特点,设计芯片的结构分析试验方法,得出微波集成电路芯片的结构分析试验项目。
简介:摘要:事实上,从一个国家的电子信息产业的发展情况可以看出国家的经济发展状况,同时,电子信息产业的发展也能代表一个国家的科技振兴和国防实力。我国目前的国民经济发展中,计算机领域、半导体照明领域已经成为支撑国民经济的两大重要版块。以我国的集成电路发展而言,十多年的发展过程中,已经建立起比较完整的产业链,该产业链包括设备芯片设计、设备封装前的测试以及设备构成部件等各种组成部分,由这些部分共同组成了较为健全的集成电路生产产业链。本文介绍了集成电路在生产制造过程中,工艺流程的发展和产品质量的管理,探讨目前我国对集成电路生产过程中的质量管理方面所存在的问题,并制定相应的解决方案。
简介:摘要:阐述集成电路制造中的工艺状况,探讨集成电路制造工艺的质量管理的优化策略,包括晶圆表面的缺陷和杂质的清洗工艺,制程参数的稳定和优化、制程控制系统的统计过程控制、设备的精度和稳定性控制。