简介:摘要:随着半导体工业等领域的不断发展,容性耦合等离子体因其容易产生大面积均匀的等离子体而被广泛应用于等离子体刻蚀和薄膜沉积等方面。与此同时,对射频等离子体源的优化和生产的要求也越来越高,对等离子体的研究也越来越重要。本文采用流体力学仿真模型,研究了容性耦合Ar/O2等离子体的放电特性。介绍了等离子体的数值模拟方法,模型,以及相应的速率系数。利用COMSOL软件对氧等离子体进行了模拟,研究了不同放电参数下氧等离子体的放电特性。
简介:探测夸克-胶子等离子体是高能物理研究的最前沿领域之一。本文详细讨论了拧测夸克-胶子等离子体的方法、意义和形成夸克-胶子等离子体的临界物理条件及研究现状和趋势。
简介:摘要:直流辉光放电等离子体广泛应用于材料表面成分分析及镀层深度分析等领域,等离子体电子密度直接影响离化及激发速率,同时它在放电腔体中的均匀性也与溅射的均匀性有关。为了研究腔体内等离子体的放电特性,本文采用COMSOL Multiphysics仿真软件,基于流体力学方程对辉光放电等离子体的电子密度特性进行仿真研究。研究结果表明,随着电极电流的增加等离子体电子密度整体增高,其轴向电子密度也在升高,且电子密度的均匀性随着电流的增加而变差;等离子体电子密度随着气压的增加而增加,径向电子密度的均匀性随着气压的增加而有轻微改善。研究结果对指导直流辉光等离子体参与材料表面成分分析及镀层深度分析等具有重要意义。
简介:摘要:纽扣式分流条是目前雷达罩常用的一种雷电防护方式,主要通过形成等离子体通道,完成雷电流的泻放。等离子体通道的形成和发展过程涉及到电、磁、力、热等多物理场的耦合作用,本文针对雷电试验中分流条的击穿和发展特性开展研究,基于磁流体放电理论和间隙放电机理,得出一种基于间隙放电特征的分流条等离子体通道的仿真建模方法,可对不同金属纽扣数量的分流条击穿过程进行瞬态模拟,并获得高压雷电环境下的分流条击穿多物理场分布特征和多物理场数据。