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  • 简介:摘要半导体设备是芯片制备的载体,多用铝合金作腔体。本文以铝合金腔体出现的水路堵塞、腐蚀现象为研究对象。通过水路堵塞、腐蚀现象的状态展示,扫描电镜的化学成分分析及堵塞颗粒物成因模拟实验,探索、找寻堵塞、腐蚀现象的成因及解决办法。实验及分析结果表明因铝本身的化学活性易与多种材料(铜、铁、镍等)发生化学乃至电化学反应,以致形成颗粒状氧化物造成材料表面腐蚀及管路堵塞。

  • 标签: 半导体设备 水路 颗粒 堵塞
  • 简介:2018年3月5日,《自然》(Nature)期刊连发两篇文章:将两层只有原子厚的石墨烯以特别的角度(1.1度,被称为“魔角冶)偏移时,材料就能在零电阻下导电.尽管该系统仍然需要被冷却至1.7K(1.7开尔文,约零下271摄氏度),但结果表明了它或许可以像已知的高温超导体那样导电.

  • 标签: 高温超导体 《自然》 开尔文 零电阻 摄氏度 导电
  • 简介:摘要辊涂镀膜减反膜是当前太阳能光伏玻璃行业发展过程中一项较为新颖的玻璃镀膜工艺类型,其能有效降低太阳能光伏系统中玻璃对太阳光的反射现象,同时具有操作简单、成本较低、生产效率较高等特点。然而辊涂镀膜减反膜生产过程中对于镀膜设备和相关工艺的稳定性要求极高,很容易在生产过程中由于种种原因导致辊涂镀膜玻璃产生外观上的缺陷,对光伏玻璃的功能发挥造成不利影响。基于此,本文将针对辊涂镀膜玻璃外观缺陷的产生原因进行分析总结,同时分析相应的缺陷解决方法。

  • 标签: 辊涂镀膜玻璃 外观缺陷 产生原因 解决方法