简介：为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息。实验结果表明：与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10mm和40mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性。
简介：对热处理工艺相同、表面粗糙度不同的轴承零件，按照现行常规磷化工艺处理，通过扫描电镜对比观察其磷化膜的显微形貌及状态。结果表明：当零件表面粗糙度在Ra0．10～0．70时，磷化膜形貌与成膜前基体表面粗糙度无直接关系，同时表明磷化膜的结晶颗粒愈细小，其反映出的表面粗糙度愈小。当零件表面为热后喷砂状态时，原精车痕迹处高点磷化膜颗粒比低点处的颗粒粗大，磷化前后的粗糙度无明显变化。
基于波长移相调谐的多表面干涉研究
零件基体表面粗糙度对磷化膜质量的影响
