简介：全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
简介：为了提高TEC冷藏箱制冷效率,针对小型TEC冷藏箱产品,对TEC热电制冷系统在最佳运行工况下的性能参数进行理论研究,并对6种工况下TEC制冷系统的制冷性能进行综合试验研究.通过分析其在不同工况下的特点及优势,找出使TEC冷藏箱整体运行效率达到最优的“最佳运行工况”,为节约能源、降低能耗及提高经济效益做出贡献,并为今后TEC冷藏箱的进一步优化提供参考.
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
TEC制冷系统最佳运行工况的理论分析与试验研究
