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  • 简介:摘要:分析了截止2016年10月10日、涉及半导体加工中激光切割相关附属装置的专利申请,分别针对除尘净化装置、冷却循环装置、夹具相关专利申请的国内外来华申请量趋势、技术发展脉络等内容进行分析,以便于大众掌握和了解半导体加工中附属装置激光切割技术中的专利技术的布局和发展情况。

  • 标签: 半导体 激光切割 附属装置 专利 分析