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薄膜液晶面板制造业PECVD废气的治理

作者：李祯
学科：天文地球 > 工程地质学
创建时间：2020-12-16
出处：《工程管理前沿》 2020年第25期
机构：中国电子系统工程第二建设有限公司

简介：摘要：本文从薄膜液晶面板制造工艺入手，列举了该类工艺常见的废气种类，重点介绍了PECVD机台的运作原理及其废气的排放处理，最后通过归纳整理，给出了一种可靠的PECVD废气处理方案。
标签：液晶面板 PECVD 废气处理

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