简介：摘要自从进入到二十一世纪以来，我国的科学技能开展水平就在不断提进步，随之而来电子工业的开展脚步也随之加速，集成电路芯片制作以及液晶显现面板制作出产厂家的运作和开展也趋于老练，高世代的TFT-LCD出产线中包含着8.5代出产线国内现已有数十条出产线正在处于建造过程中，特别是12英寸的晶圆出产线有多条现已建成，一起投入到出产之中，正式因为产品出产工艺的实践特征，导致这类的出产用洁净厂房的实践需求度是极高的，此刻，就需求对厂房的洁净程度予以全方面的检测，笔者依据此问题进行了剖析和概括。
洁净厂房的检测分析
