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三氯氢硅合成工艺及其优化研究
三氯氢硅合成工艺及其优化研究
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摘要
摘要:研究三氯氢硅的合成工艺及其优化策略。通过文献综述和实验验证,探讨了影响三氯氢硅合成效率和质量的关键因素,包括反应条件、催化剂选择和工艺参数优化。研究表明,调整反应温度、催化剂用量和反应时间可以显著提高三氯氢硅的产率和纯度。此外,优化后的工艺方案不仅能够降低生产成本,还能够减少对环境的影响,符合可持续发展的要求。
DOI
34gmmgx384/8471979
作者
李成
机构地区
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
出处
《中国科技人才》
2024年8期
关键词
三氯氢硅合成
工艺优化
反应条件
催化剂选择
生产效率
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2024年07月17日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国科技人才
2024年8期
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