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《生命科学仪器》
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2009年6期
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硅晶体生长直径检测的研究
硅晶体生长直径检测的研究
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摘要
论文是以半导体材料硅单晶生长为背景,把嵌入式机器视觉系统引入到视频图像采集、处理与显示的研究中。目的是研究一种小型化、智能化的嵌入式产品解决方案,服务于广阔的市场需求。论文将采集到的晶体生长图像并通过软件实现视频图像处理系统中的图像处理算法,对直拉法晶体硅棒生长速度的测量,使其产生模拟电平送至工控机,从而对晶体生长速度加以控制,使系统达到测量数据可读化。
DOI
g4qxq7wzj8/767672
作者
李学敏;程光伟
机构地区
不详
出处
《生命科学仪器》
2009年6期
关键词
直拉法
嵌入式LINUX
USB
S3C2440
图像采集
图像处理
分类
[机械工程][精密仪器及机械]
出版日期
2009年06月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
生命科学仪器
2009年6期
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