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MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究

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摘要摘要:随着全球跨入万物互联时代，传感器产业迎来爆发式增长，MEMS传感器因其体积小、灵敏度高、可靠性强的优势逐渐占据主流。当前，我国在MEMS传感器设计、制造、封装、测试等关键产业链环节均取得了长足的进步，但与国际先进水平相比，仍存在诸多差距。

DOI 3j7nv9v5d1/6874405

作者王建峰

机构地区天津市劳动经济学校 300380

出处《教育学文摘》 2023年1期

关键词 MEMS 传感器。

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2023年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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MEMS 传感器。

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