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巴斯夫与赢创合作研发先进的CMP液

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摘要赢创和巴斯夫同意合作发展二氧化铈研磨液来制造计算机芯片。这项合作计划将运用巴斯夫的化学专长、全球营销和分销能力，以及赢创在纳米材料上的领先地位。研发出的研磨液预计将在2009年商品化。

DOI n49erx7qdy/614683

作者

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2008年8期

关键词合作发展巴斯夫 CMP 计算机芯片二氧化铈合作计划

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2008年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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