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光学真空镀膜机的应用及发展

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摘要摘要：本文介绍利用光学电子镀膜机的工作机体内部结构，工作运动原理和光学镀膜制造工艺在生产部件结构选择和镀膜真空资源配置等各个方面的重要决定性指导作用，通过不断改进、改良、优化镀膜系统以期能达到大幅提高镀膜生产工艺精度，降低生产和检修维护过程成本，提高效益，减少环境污染的主要目的。

DOI 2d3r753gd9/5860419

作者刘宏辉

机构地区泮山技术（深圳）有限公司广东省深圳市 518109

出处《科学与技术》 2022年1期

关键词光学真空镀膜机离子源分子泵光学蒸发真空镀膜机抽气系统

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2022年04月23日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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