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2021年17期
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金刚石表面状态控制及应用探讨
金刚石表面状态控制及应用探讨
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摘要
摘要:金刚石在高频高压条件性能稳定,集机械、光电、热能、力学于一身,是绝佳的半导体材料。高尖端技术的发展对于金刚石的精度提出了更要的要求,随着器件尺寸的不断减小,需对金刚石表面进行原子级别尺度的控制。半导体芯片的表面控制是1nm之内,甚至精度要达到一个原子的级别。因此对于金刚石表面的平整度控制就成为了至关重要的技术,决定了金刚石的精度和综合性能。
DOI
3j772wr5j1/5615677
作者
刘国库
机构地区
身份证号码:21088219820113****
出处
《工程建设标准化》
2021年17期
关键词
金刚石
表面
状态控制
应用
分类
[建筑科学][建筑理论]
出版日期
2021年11月04日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
工程建设标准化
2021年17期
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