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金刚石表面状态控制及应用探讨

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摘要摘要：金刚石在高频高压条件性能稳定，集机械、光电、热能、力学于一身，是绝佳的半导体材料。高尖端技术的发展对于金刚石的精度提出了更要的要求，随着器件尺寸的不断减小，需对金刚石表面进行原子级别尺度的控制。半导体芯片的表面控制是1nm之内，甚至精度要达到一个原子的级别。因此对于金刚石表面的平整度控制就成为了至关重要的技术，决定了金刚石的精度和综合性能。

DOI 3j772wr5j1/5615677

作者刘国库

机构地区身份证号码：21088219820113****

出处《工程建设标准化》 2021年17期

关键词金刚石表面状态控制应用

分类 [建筑科学][建筑理论]

出版日期 2021年11月04日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

工程建设标准化

2021年17期

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