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光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

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摘要采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片，简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求，板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床，该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16．5g／（cm^2·s），分解效率为97％，室压粗糙度小于2％。

DOI pd5kwevrd7/486595

作者宁建华;雷娟萍

机构地区不详

出处《火箭推进》 2006年6期

关键词光刻整体式催化剂床过氧化氢催化分解

分类 [航空宇航科学技术][航空宇航推进理论与工程]

出版日期 2006年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

火箭推进

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光刻整体式催化剂床过氧化氢催化分解

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