提纯工序回收系统的改造

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 摘要:本文介绍了多晶硅的生产工艺改良西门子法——三氯氢硅氢还原法,重点对多晶硅生产中提纯工序回收系统工艺进行介绍。 精馏系统 B、 P杂质富集,不能有效去除,从而 对回收系统进行技改,利用技改减少系统 B、 P杂质含量,使 多晶硅产量、质量得以提升。
出处 《科学与技术》 2019年23期
出版日期 2020年05月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献