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晶体炉称重模块的被动隔振研究

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摘要摘要：针对晶体生长炉称重模块的振动导致测得重量值的跳动，提出针对该模块的被动减振系统模型通过 MATLAB软件仿真，从中选取减振效果最好的参数，由最终分析结果可得，加入的减振系统具有良好的减振性，提高称重模块的稳定性，取得了较好的效果。

DOI 2d36rr5gd9/4558419

作者张军胜唐静媛杨军良刘云霞

机构地区西安理工大学陕西西安 710048

出处《科学与技术》 2019年19期

关键词晶体炉被动减振参数优化

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年03月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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