首页
期刊导航
期刊检索
论文检索
新闻中心
期刊
期刊
论文
首页
>
《科学与技术》
>
2019年11期
>
氮化硅薄膜制备及其质量控制方法研究马静
氮化硅薄膜制备及其质量控制方法研究马静
打印
分享
在线阅读
下载PDF
导出详情
摘要
未填写
DOI
lde7nw75j3/4110065
作者
马静安静
机构地区
(西安微晶微电子有限公司陕西省西安市710000)
出处
《科学与技术》
2019年11期
关键词
半导体
VDMOS功率器件
钝化膜层
正交试验
分类
[社会学][]
出版日期
2019年11月21日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
相关文献
1
马静,安静.
氮化硅薄膜制备及其质量控制方法研究
.建筑技术科学,2019-12.
2
马静安静.
氮化硅薄膜制备及其质量控制方法研究
.电力系统及自动化,2019-10.
3
王莉.
CVD法氮化硅薄膜制备及性能
.文化科学,2019-02.
4
.
日本开发新型氮化硅陶瓷
.城市规划与设计,2002-12.
5
夏茹;朱清仁;章于川;李方山;董前年;周琨;夏迎松;何仕生;蔡佩亮;张海潮.
纳米氮化硅/丁腈橡胶复合材料的制备与性能研究
.材料科学与工程,2006-05.
6
李甫.
氮化硅晶须结构的性能研究及其应用现状
.陶瓷工业,2007-09.
7
乔蓉.
氮化硅锰中锰的测定
.有机化工,2009-11.
8
陈凤娇.
氮化硅粉体合成技术研究现状
.,2022-10.
9
朱福林.
氮化硅纳米纤维增强复合材料的制备与力学性能研究
.建筑技术科学,2023-10.
10
葛龙飞.
氮化硅陶瓷磨削温度与表面裂纹扩展研究
.建筑技术科学,2021-08.
来源期刊
科学与技术(学术版)
2019年11期
相关推荐
氮化硅陶瓷牙科修复材料研究进展
氮化硅材料精密加工工艺的优化策略
表面处理对氮化硅陶瓷力学性能的影响
氮化硅陶瓷材料在焊接夹具上的应用
氮化硅陶瓷在现代制造业中的应用
同分类资源
更多
[社会学]
高职法律事务专业课程体系和教学方法改革研究
[社会学]
浅谈直观性原则在美术教学中的运用
[社会学]
得体性原则与“四个世界”
[社会学]
形态成就设计
[社会学]
浅谈农村有线电视网络升级改造之紧要性
相关关键词
半导体
VDMOS功率器件
钝化膜层
正交试验
返回顶部