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氧氮共渗

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摘要 SY509-3-64[篇名]DegradationandSILCeffectsofRPECVDsub-2.0nmoxide/nitrideandoxynitridedielectricsunderconstantcurrentstress；SY509-3-65[篇名]EffectofMicrostructuralVariablesontheErosionofSiliconNitrideCeramics……

DOI n49ewknqdy/344083

作者

机构地区不详

出处《表面工程：英文版》 2005年3期

关键词氧氮共渗工艺 SILC 硅材料恒流压力等离子体

分类 [金属学及工艺][金属表面处理]

出版日期 2005年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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