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《电力设备》
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2019年7期
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掩模制造过程缺陷来源研究尤春
掩模制造过程缺陷来源研究尤春
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摘要
摘要针对集成电路掩模的制作过程中各种缺陷产生的种类及来源进行了基本的系统分析,提出了一些减少或消除这些缺陷的办法和措施。
DOI
7j68n52n40/3301366
作者
尤春
机构地区
(无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡214035)
出处
《电力设备》
2019年7期
关键词
集成电路
掩模
缺陷
缺陷控制
分类
[电气工程][电力系统及自动化]
出版日期
2019年07月17日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
电力设备
2019年7期
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