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微电子机械系统及硅微机械加工工艺分析

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摘要摘要微电子机械系统的基础是微纳米技术，这种加工技术就是对微纳米材料的加工和制造，而硅微机械加工工艺是在集成电路工艺发展的基础上得以发展的微电子机械系统技术。本文首先对微电子机械系统进行概述，提出三种不同的微电子机械系统的加工方法，最后，分析了硅微机械加工工艺的多种不同的工艺方法。

DOI ojnx6o31dr/2995461

作者唐洪珍

机构地区（安徽爱意爱机电科技有限公司233000）

出处《电力设备》 2017年13期

关键词微电子机械系统硅微机械加工工艺

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2017年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）