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2016年36期
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多晶硅生产中的废气处理方法
多晶硅生产中的废气处理方法
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摘要
摘要本文主要从笔者亲身参与的多晶硅的用途及分类与改良西门子法分析的废气主要处理工艺以及废气焚烧处理优化分析,旨在与同行探讨学习,共同进步。
DOI
ojzgm75z45/2836446
作者
张丽
机构地区
广东省东莞市常平镇司马管理区晶苑工业城
出处
《基层建设》
2016年36期
关键词
多晶硅
废气
改良西门子法
分类
[建筑科学][建筑设计及理论]
出版日期
2016年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
基层建设
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