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日本关东电化工业公司扩大生产能力

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摘要日本关尔电化工业公司正在三氟化氮的生产能力，产品主要用于半导体生产中的清洁气体。扩产后，生产能力将提高30％，达到850吨／年。

DOI lpd5vm1gj7/250695

作者

机构地区不详

出处《无机化工信息》 2004年4期

关键词扩大生产能力日本关东电化工业公司扩产产品半导体生产三氟化氮

分类 [化学工程][无机化工]

出版日期 2004年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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无机化工信息

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