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洗净工程中的静电现象

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摘要本文主要介绍静电在洗净工程中带来的危害性及危险性,并对不同情况下的静电防护措施进行了简要说明.

DOI pd5y5mggj7/2158647

作者王青

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年12M期

关键词静电洗净工程碳氢类清洗剂硅片 PCB

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年05月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

洗净技术

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