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中微半导体成唯—进入台积电7nm制程的大陆设备商

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摘要据报道，目前台积电的7nm布局最积极，近期台积电更是转变了7nm制程设备的采购策略，将应用材料（AppliedMaterials）、科林研发（LAM）、东京威力科创（TEL）、日立先端（Hitach）、中微半导体5大设备商均纳入采购名单，致力平衡7nm制程设备商生态价格。

DOI rdx5opp9jl/1762249

作者

机构地区不详

出处《新材料产业》 2017年8期

关键词制程设备设备商台积电半导体大陆采购策略

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2017年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

新材料产业

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