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一种激光直写机特殊样品套刻的样品台

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摘要介绍了一种激光直写机特殊样品套刻的样品台,解决了以往激光直写对薄片和小片套刻的不便,提高了对特殊样品套刻的精度和效率。

DOI ldermrwn43/1592241

作者李喜玲;李华;郭党委

机构地区不详

出处《高校实验室工作研究》 2015年4期

关键词激光直写特殊样品台薄片小片套刻

分类 [文化科学][高等教育学]

出版日期 2015年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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激光直写特殊样品台薄片小片套刻

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