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稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用

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摘要相对于宏观机械系统，微电子机械系统（Micro—Electro—Mechanical．Systems，MEMS）器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异（通常是由于加工误差引起的）更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健（robust）设计可以有效抑制产品性能的波动。

DOI rj8oxzy9d0/1122682

作者周浩

机构地区不详

出处《中国工程物理研究院科技年报》 2011年1期

关键词结构参数设计稳健设计微机械陀螺微电子机械系统 MEMS器件 SYSTEMS

分类 [理学][物理]

出版日期 2011年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国工程物理研究院科技年报

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结构参数设计稳健设计微机械陀螺微电子机械系统 MEMS器件 SYSTEMS

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