CMOS光刻市场发展及应用

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摘要 随着电子产业的技术进步和发展,光割技术及其应用已经远远超出了传统意义上的范畴,CMOS光刻市场几乎包括和覆盖了所有微细图形的传递、微细图形的加工和微细图形的形成过程。因此,未来光刻。技术的发展也是多元化的,应用领域的不同会有所不同。
作者 罗玉
机构地区 不详
出处 《电脑与电信》 2011年12期
出版日期 2011年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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