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等离子体发生器制备纳米微粒

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摘要介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路,并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。

DOI yzdl0n8dlv/10840

作者何蓉

机构地区不详

出处《纳米科技》 2004年4期

关键词化学气相法等离子体发生器温度形态

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2004年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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化学气相法等离子体发生器温度形态

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