简介:对比了ICP刻蚀和湿法腐蚀制备台面型InP/InGaAs雪崩光电二极管(APD)时侧壁、表面形貌的不同,以及对暗电流和击穿电压的影响。在Cl2/Ar2/CH4条件下感应耦合等离子体(ICP)刻蚀InP会出现表面粗糙,对其原因进行了探究。并主要对ICP的刻蚀时间和刻蚀功率进行了优化,提高刻蚀表面的温度,保证了刻蚀的稳定性并改善了InP刻蚀表面的形貌,确定了稳定制备APD器件的刻蚀条件,最终制备出性能优良的台面型APD器件。
简介:由于设备会随着使用时间的增加和自身寿命增长引起的退化而逐渐磨损失效进而发生故障.因此对于生产企业来说,想要提高自身竞争力,就要在生产过程中合理地安排预防性维护以减少设备故障导致的计划外停机,防止生产计划和生产线的中断,从而才能获取更多收益.本文从生产企业的角度出发,提出单机生产系统的非等周期不完美预防性维护与生产的联合优化策略,综合考虑生产价值、生产成本、生产延迟成本及各类维护成本等,构建了总利润率模型,目标是使总利润率最大化.其中涉及到的三类维护方式为(1)完美维护——即更换;(2)小修维护——即使设备“恢复如旧”;(3)不完美预防性维护——即使设备状态恢复到介于“完全如新”与“恢复如旧”之间的某状态.最后本论文通过数字实例,验证了新策略模型在实际生产应用中的有效性.